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디스플레이

FLSP-S

LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FEATURES

w 유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정

w flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비

w 고출력 레이저와 길고 얇게 빔을 가공하는 광학계로 높은 처리 속도

w 레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보

w 생산성 향상을 위한 정밀 이중 스테이지 제어 방식

w 최적화된 하드웨어 설계로 설비 배치 공간 최소화

ITEMSDESCRIPTION
SUBSTRATE SIZE1,500mm * 925mm (G6.0 half)
APPLICATIONPI / glass & PI-BUFFER-PI / glass
SYSTEM TYPEstand-alone type for mother glass panel
LASER & OPTICShigh power excimer laser & long line beam
PRECISION STAGEXYZR dual stage based on granite   /   XY repeatability ≤ ±2 um
PROCESS SPEED (TACT TIME)≥ 42 sheets / hour ( at G6.0 size )

FLSP-C

LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FEATURES

w 유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정

w flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비

w 다중 셀 처리 방식으로 높은 처리 속도

w 레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보

w 이동 속도가 빠른 멀티 모션 제어

w 최적화된 내부 프로세스 흐름 및 시스템 설계

ITEMS DESCRIPTION
SUBSTRATE SIZE 1” ~ 15” panel
APPLICATION PI / glass
SYSTEM TYPE in-line flow type with multi-cell transfer
LASER & OPTICS high power excimer laser & long line beam
PRECISION STAGE dual stage with XYZR-axis based on granite XY-axis repeatability ≤ ± 2 um
PROCESS SPEED (TACT TIME) 3.5sec / cell ( at ≤ 6.0” panel )
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FLSP
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET(혹은 CELL) 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FLCS-G6
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OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL을 CELL 단위로 CUTTING 하는 설비

LCS-G80i
LCS, LASER CUTTING SYSTEM

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